微納結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量?jī)x
更新時(shí)間:2024-06-04
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微納結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量?jī)x系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測(cè)儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長(zhǎng)作為測(cè)量基準(zhǔn),利用納米級(jí)高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,實(shí)現(xiàn)連續(xù)或臺(tái)階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),由此獲得待測(cè)物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類(lèi)外觀參數(shù)測(cè)量結(jié)果。
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